产品展示

联系我们

bitget wallet

地址:沈阳市沈河区凌云街35号

传真:024-88427871

销售热线:13898863716 13940380370

产品展示

当前位置:首页>>产品展示>>电阻热蒸发镀膜系列>>ZF400型多源电阻热蒸发仪

400A多源热蒸发

文章来源:admin 更新时间:2022-02-07

400A多源热蒸发

  400型单室热蒸发镀膜系统
  主要用途:
  用于制备导电薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,光学薄膜等。
  系统组成:
  该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及计算机控制系统、辅助系统等设计。
  技术指标:
  极限真空度:≤6.7×10 Pa
  恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
  系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
  真空室:Ф400 x400mm圆筒型真空室 ,
  蒸发源:1-4个,采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。
  蒸发温度:加热温度:室温~1800℃;
  蒸发舟在距中心100~160mm的圆周上;蒸发舟可上下升降,调节幅度0~150mm(样品中心与坩埚距离150~300mm);
  工作架类型及尺寸:样品托盘直径Φ300mm,其上可放多个直径20mm的小样品;样品托盘具有自转功能,转速在0~20 转/分钟,转速可调;样品托盘可摆角,角度在0~30度可调;
  烘烤温度:400℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到700℃)
  电阻蒸发源:电压5V,10V,功率2.5KW,水冷电极1~4对
  石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999Å

地址:沈阳市沈河区凌云街35号电话:024-88427871销售热线:13898863716 13940380370

版权所有:bitget wallet技术支持:盘古网络[盘古建站]ICP备案编号:辽ICP备11019824号-2

 辽公网安备 21010302000036号

网络经济主体信息