OLED双室多源蒸发系统

　　主要用途：

　　系统主要用来生长EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。

　　系统组成:

　　该类设备为双室带手套箱结构的有机、无机、多源有机、无机气相分子沉积设备，采用直线式结构，由一个金属材料、氧化物生长室、一个有机材料生长室和一个手套箱组成，金属材料生长和氧化物生长室以及进样室/氧化物生长室之间通过空气锁联接，样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。

　　技术指标：

　　有机蒸发室：经烘烤6小时左右，并连续抽气最高真空优于8.0×10 Pa

　　无机蒸发室：经烘烤6小时左右，并连续抽气最高真空优于6.6×10 Pa

　　蒸发室：方形真空室，尺寸：450×400×350mm

　　恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa（短时间暴露大气并充干燥氮气后开始抽气）

　　样品尺寸：50×50mm 或100×100mm设有掩膜板和掩膜库/金属材料/氧化物生长室可放置1-4个热阻蒸发舟和一个掩膜库/有机材料生长室可放置1-8个高温或低温束源炉，可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。

　　石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999Å

　　可选手套箱

　　计算机系统主要功能：实现真空泵控制功能、机械泵与低温泵联锁。

　　控制功能、基片自转速度控制功能。