高真空电弧炉

文章来源：pengchengzk 更新时间：2018-01-22

主要组成
系统主要由电弧熔炼真空室、电弧枪、电弧熔炼电源、五工位水冷铜坩埚、翻转机械手、真空吸铸装置、磁力搅拌、工作气路、系统抽气、真空测量及电气控制系统、安装机台等各部分组成。
极限真空：2.0x10^-4Pa。
系统漏率小于5.0x10^-8Pa.l/S。
系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10^-3 Pa；
停泵12小时后真空度≤6Pa.
1、电弧熔炼真空室组件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1套
　 立式圆筒型真空室尺寸：φ350mmX350mm，前开门，双层水冷结构，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面电化学抛光处理，接口采用金属垫圈或氟橡胶圈密封
2、 电弧熔炼阴极组件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1套
水冷电动电弧枪：1套（引弧方式为非接触）　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　
3、 水冷铜坩埚组件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1套
4、 机械手组件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1套
用于真空下翻转合金锭；
机械手组件有水冷装置。
5、 窗口及法兰接口部件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
6、工作气体气路 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2条
7、抽气机组及阀门、管道　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　1套
8、工作本底真空获得: 分子泵+机械泵
9、真空测量及电控系统