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小方分子提纯设备

文章来源:admin 更新时间:2022-02-07

小方分子提纯设备

  小方分子提纯设备
  主要用途:
  该设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、辅助系统等设计。
  系统主要用来生长有机材料提纯的研究工作。
  系统组成:
  该类设备为单室选手套箱。
  技术指标:
  极限真空≤610-4Pa,工作压力≤2*10-3Pa;
  系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。
  镀膜室:腔室尺寸约为Φ50×350mm,石英材料,圆柱形结构。
  抽气系统:采用分子泵+机械泵抽气系统;
  样品可加热,加热温度为:200-600℃;
实验室应配有冷却循环水机,为真空泵、电极、膜厚测试仪冷却。
  可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
  石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999Å

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