小方分子提纯设备
文章来源：admin 更新时间：2022-02-07
小方分子提纯设备
主要用途：
该设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、辅助系统等设计。
系统主要用来生长有机材料提纯的研究工作。
系统组成:
该类设备为单室选手套箱。
技术指标：
极限真空≤610-4Pa，工作压力≤2*10-3Pa；
系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。
镀膜室：腔室尺寸约为Φ50×350mm，石英材料，圆柱形结构。
抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；
样品可加热，加热温度为：200-600℃；
实验室应配有冷却循环水机，为真空泵、电极、膜厚测试仪冷却。
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999Å
辽公网安备 21010302000036号