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300A蒸发

文章来源:admin 更新时间:2022-02-07

300A蒸发

设备目的
进行金属配合物的镀膜(主要指有机)。

技术要求:

1、镀膜室:镀膜腔室尺寸约为Φ220×280mm,不锈钢材料,圆柱形前开门结构,内带有防污板。

2、抽气系统:采用分子泵+机械泵抽气系统;

2.1、真空度:镀膜室的极限真空≤6×10-4Pa;

2.2、系统漏率≤1×10-7PaL/s。

3、蒸发源系统:

3.1、有机源蒸发源一个,容积5ml,一台蒸发电源,可测温控温,加热温度400℃,功率0.5Kw;

3.2、挡板:蒸发源挡板采用手动磁力控制方式,控制其开启;

3.3、安装:蒸发源安装在真空室的下底上。

4、样品架系统:

4.1、样品架可放置大小为Φ50mm的样品,载玻片;

4.2、样品架可旋转,旋转速度为:0~30转/分;

4.3、安装:样品安装在真空室的上盖上,蒸发源安装在真空室的下盖上,向上蒸发镀膜,蒸发源都带有挡板装置。

5、样品在镀膜过程中,带有烘烤加热功能,最高烘烤加热温度为:室温~180℃,测温控温。

6、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。

实施方案

该设备主要由真空抽气及测量系统、镀膜室系统、蒸发源及控制系统、样品台系统、辅助系统、电控系统等组成。

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